手順
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基板のパターンをOHPシートに印刷する.(印刷面と銅箔面が向かい合うように!)
この時,MBEでパターンを設計した場合,印刷するレイヤーはPTH・SOL・DRL.
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ポットでお湯を沸かしておく(ここから時間との勝負)
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OHPシートの印刷面を感光基板のパターン面(緑色の面)に密着させ,
クランプ代わり使用している額縁のガラス面にOHPシートを乗せ,反対側から固定板で固定する.
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紫外線蛍光灯で感光させる.
時間は2分~2分30秒程度,基板全体に極力満遍なく紫外線が当たるように置く位置を調整する.
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ペットボトルに入っている濃縮状態の現像液を水orお湯で2倍に希釈し,パットに入れる.
計量カップ(エッチング液で汚れているが気にしない)に濃縮駅を100ml入れ,水かお湯を100ml入れるといい感じ
適温は25~30℃程度.夏場は常温でいいかも.
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感光が終わった基板を現像液に投入する.
素手で現像液に触れると皮膚によろしくないので現像液用手袋(汚れてないやつ)装着を強く推奨.
(時間との勝負終了)
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大きいパットにお湯を張り,廃液処理用袋にエッチング液を入れ,その中に現像が終わった基板を入れる.
エッチング液が手に付くと悲惨なのでエッチング液用手袋(汚い方の手袋)装着必須.
次に,袋の口を閉め,袋ごとパットのお湯の中に投入する.
お湯の温度は極力40℃以上,最悪35℃以上を維持すること.
冷めてきたらお湯を継ぎ足す,汲み出して新しいお湯を入れるなどで温度を上げること.
汲み出したお湯は穴の開いてないゴミ箱(エッチング液用の汚い手袋がかかってるやつ)に入れておく.
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時々進行状況を確認し,露出した銅が完全に溶けたのを確認したら引き上げる.
後処理
使用したエッチング液はボトルの中に戻す.使用済み現像液はトイレットペーパーに吸い込ませて乾燥させ,
後日廃棄.使用したお湯はいったんゴミ箱に移し,後でトイレに放流.
ゴミはゴミ箱へ.
注意
時間との勝負中はカーテンを閉め,基板に日光を当てないこと.
感光と現像の間に時間を置かざるを得ない場合(複数枚感光など)は,基板が入ってた袋の中に戻すこと.
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